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作者:中爾新材 時(shí)間: 瀏覽:1840

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多線切割是激光切割大直徑硅單,多晶體棒十分最好的辦法之一。

多線切割中采用的是一種具備流通性的混和粗蠟——砂漿,其功效在激光切割歷程中特別關(guān)鍵。砂漿是被反復(fù)運(yùn)動(dòng)的線送到激光切割區(qū),被帶進(jìn)的砂漿量的多大及其激光切割速率的大小決策單晶硅片的激光切割品質(zhì)。增強(qiáng)尼龍?jiān)摷す馇懈钊^(guò)程必須應(yīng)用強(qiáng)度高,粒度分布小而且粒度遍布窄的碳化硅顆粒物做為切割工作物質(zhì)。而與碳化硅按占比添加的聚乙二醇(PEG),具有潤(rùn)濕劑的功效,會(huì)使碳化硅在激光切割歷程中遍布勻稱,而且聚乙二醇具有一定的比熱,可以帶去很多在激光切割歷程中形成的磨擦發(fā)熱量,與此同時(shí)聚乙二醇的優(yōu)良水溶也有利于中后期單晶硅片的清理。

增強(qiáng)尼龍線切割加工中,快速反復(fù)運(yùn)動(dòng)的切割線推動(dòng)砂漿到激光切割區(qū),使砂漿中的碾磨顆粒物——碳化硅與硅棒表層快速切削,因?yàn)槟肽ヮw粒物有十分硬朗的邊角,而且強(qiáng)度遠(yuǎn)高于硅棒的強(qiáng)度,因此硅棒與線鋸觸碰的地區(qū)慢慢被砂漿切削掉,從而做到激光切割的實(shí)際效果,與此同時(shí)砂漿還可以帶去切削中形成的很多熱。

增強(qiáng)尼龍一種硅晶圓線割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的收購(gòu)方式,其收購(gòu)的聚乙二醇(PEG)和碳化硅可以做到硅晶片激光切割的規(guī)定,完成PEG和碳化硅多次收購(gòu)循環(huán)利用,不但可以提升原材料液的利用率,減少晶單晶硅片的制造成本,并且可以壓根上防止廢砂漿對(duì)自然環(huán)境引起的環(huán)境污染。


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